France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement de collage direct automatique pour les plaques de 4, 6 et 8 pouces avec une chambre UV/O3, une chambre d'activation du plasma, une chambre de nettoyage et une chambre de collage infrarouge pour le CEA de GRENOBLE

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de collage direct automatique pour les plaques de 4, 6 et 8 pouces avec une chambre UV/O3, une chambre d'activation du plasma, une chambre de nettoyage et une chambre de collage infrarouge. Le marché envisagé comprend les options suivantes : > Options à chiffrage obligatoire : - Option n°1 : Compatibilité 200 mm (8’’) (telle que précisée au §-3.1.1 du cahier des charges) - Option n°2 : Générateur O3 (telle que précisée au §-3.1.2 du cahier des charges) - Option n°3 : Formation maintenance niveau 1 (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) - Option n° 4 : Formation maintenance avancée (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) > Option à chiffrage facultatif : - Option n°5 : Heat Exchangers / Chiller (telle que précisée au §-3.2.6 du cahier des charges)