France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d'un scanner de lithographie optique 248 nm

Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d'un scanner de lithographie optique 248 nm. Cet équipement est destiné à traiter des plaques 300mm pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché : . Option 1 : Possibilité d’utiliser au moins 6 éléments optiques diffractifs. . Option 2 : Capacité à traiter des plaques déformées avec un bow compris entre -500 µm et 350 µm. . Option 3 : Capacité à traiter des plaques d'épaisseur comprise entre 500 µm et 1 mm. . Option 4 : Capacité à manipuler les plaques transparentes. . Option 5 : Capacité à corriger finement la topographie des plaques. . Option 7 : Formation maintenance niveau 1. . Option 8 : Formation maintenance avancée. . Option 9 : Deuxième année de garantie telle que décrite au paragraphe 11 du cahier des charges, complétée par une troisième année de garantie. . Option 10 : Transport, assurance comprise, DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).