France – Microelectronic machinery and apparatus – Equipement 300mm splitting furnace for SmartCut technology

Le présent marché a pour objet de fixer les conditions selon lesquelles le CEA confie au Titulaire, qui accepte, la fourniture d’un four permettant le Smart-CutTM de plaquettes de 300 mm dans des tubes horizontaux. Le marché comporte les options obligatoires suivantes : Option 1 : Formation Maintenance 1er niveau (§9 du CdC) Le marché comporte les options facultatives suivantes : Option 2 : Echangeurs de chaleur (Heat exchangers) and systèmes de refroidissement (chillers) (§3.2.6 du CdC) Option 3 : Transformateur électrique (Power supply transformer) (§4.1.4 du CdC) Option 4 : Formation Maintenance Avancée (§9 du CdC) Option 5 : Extension de garantie d’une année supplémentaire.