France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d'un équipement automatique de mesure de résistance carrée (Rs) de wafers de 300mm

Pour ses activités de recherches & développements, le CEA-LETI souhaite acheter un équipement automatique de mesure de résistance carrée (Rs) de wafers de 300mm de diamètre, qui doit permettre d’effectuer des mesures précises sur des échantillons à haute résistivité (HR). Les options facultatives : o Option n°1 : caméra (§2.1) o Option n°2 : Echangeurs de chaleur / refroidisseurs (§3.2.6) o Option n°3 : Transformateur (§4.1.4) o Option n°4 : Formation Maintenance 1er niveau (§9) o Option n°5 : Formation Maintenance Avancée (§9) o Option n°6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire (§11.1) o Option n°7 : Transport Incoterm DAP