France – Microelectronic machinery and apparatus – Equipement de Microscopie électronique à balayage et cathodoluminescence résolu en temps

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de cathodoluminescence résolue en temps. Les domaines d'application comprennent les matériaux ou les dispositifs pour les LED, l'électronique de puissance, le photovoltaïque et la photoélectronique, où la nano et la microstructuration sont présentes. La caractérisation de la composition, de la déformation ou des défauts spécifiques au matériau (par exemple, les dislocations) ou liés au processus de fabrication de l'échantillon est essentielle pour toutes ces applications. Cet outil aura une haute résolution spatiale en imagerie électronique secondaire, permettant la caractérisation de nanostructures dont les dimensions sont de l'ordre de la dizaine de nanomètres (par exemple, nanofils, puits quantiques, dislocations). La gamme spectrale optique devrait couvrir au moins 200 nm à 800 nm avec une résolution spectrale de 1 nm pour les spectres d'étude et de 0,1 nm pour les spectres à haute résolution. Le marché envisagé comprend les options suivantes : o Option 3 : Formation à la Maintenance de premier niveau o Option 4 : Formation à la Maintenance avancée et les options à chiffrage facultatif suivantes: o Option 5 : échangeurs de chaleur/chiller