Germany – Research, testing and scientific technical simulator – Maskenloses Lithographiesystem
Tender Description
Ausgeschrieben wird ein maskenloses Lithographiesystem, welches eine flexible Möglichkeit zur Mikrostrukturierung von verschiedenen Oberflächen bieten soll. Das ausgeschriebene System soll zukünftig das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur an der Universität Paderborn darstellen.
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