France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un équipement permettant de constituer et gérer un stock de FOUP de 300mm (ou 12’’) pour l’Institut LETI du CEA.

Pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI 10nm et au-delà, le CEALETI souhaite acquérir un équipement qui permettra de constituer et gérer un stock de FOUP de 300mm (ou 12''). Le marché comporte : - L’équipement de base, - Les options levées suivantes : o Option n°1 : le procédé n°3 détaillé à l’article 2 du cahier des charges ; o Option n° 2 : la fourniture d’un système de purge avec gaz inerte positionné sur vingt (20) emplacements, tel que cela est exigé à l’article 3.1 du cahier des charges ; o Option n°3 : la fourniture de deux (2) loads ports manuels (entrée/sortie) additionnels, tel que cela est exigé à l’article 3.1 du cahier des charges ; o Option n°4 : la formation à la maintenance de premier niveau, dans les conditions décrites à l’article 9 du cahier des charges et à l’article 9 du projet de marché.