France – Microelectronic machinery and apparatus – Fourniture d’un microscope à faisceau d’ions focalisés (FIB) à plasma couplé avec une colonne de microscope électronique à balayage (MEB)

La consultation comprend : - La fourniture d’un microscope à faisceau d’ions focalisés (FIB) à plasma couplé avec une colonne de microscope électronique à balayage (MEB), - Des options à chiffrage obligatoire : o Option n°1 : Formation à la maintenance 1er niveau o Option n°2 : Précurseurs supplémentaires o Option n°3 : Porte-échantillons supplémentaires o Option n°4 : Consommables (y compris les configurations d'ouverture standard) o Option n°5 : Système de transfert ou matériaux sensibles o Option n°6 : Refroidissement des échantillons sans azote o Option n°7 : Refroidissement des échantillons à l'azote - Des options à chiffrage facultatif : o Option n°8 : Bouteille de xénon pour la source (avec durée de vie prévue/garantie) o Option n°9 : Possibilité de filtrer les électrons secondaires du signal rétrodiffusé o Option n°10 : Système d'injection de gaz avec plusieurs précurseurs sur une seule bride o Option n°11 : Formation à la maintenance avancée