France – Microelectronic machinery and apparatus and microsystems – Acquisition d'un système de séchage par CO2 à l'état supercritique
Tender Description
Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de séchage par CO2 à l’état supercritique pour la réalisation des composants micro-nanoélectroniques du type MEMS/NEMS pour le laboratoire IEMN
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