Germany – Checking and testing apparatus – Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Tender Description
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
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