Spain – Microelectronic machinery and apparatus – Adquisición de un equipo de planarización químico-mecánico de obleas de semiconductores

Con la adquisición de este equipamiento se conseguiría disponer de estas capacidades, lo que supondría una ventaja competitiva importante tanto a nivel interno del instituto como al mismo tiempo ofrecer un servicio más completo a usuarios externos, tanto grupos de investigación como empresas. Disponer de una herramienta de planarización Química Mecánica a nivel nanométrico aumentaría los servicios ofertados, cubriendo aplicaciones requeridas en campo de los semiconductores (pulido de caras para acoplo y planarización de capa en dispositivos multicapa y multioblea). Asimismo, facilitaría el acceso por parte de los grupos de investigación del instituto a proyectos de investigación competitivos que se ve dificultada en la actualidad por la falta de este tipo de equipos. La infraestructura solicitada pondría las instalaciones del NTC en primer nivel tecnológico y a la par con centros punteros en fotónica y comunicaciones. La combinación de capacidades de fabricación de circuitos ópticos con dimensiones inferiores a 10nm y en obleas de hasta 8 pulgadas con funciones de planarización y pulido de caras supondría una singularidad del NTC, que lo haría destacar a nivel europeo. En definitiva, la adquisición del equipamiento solicitado permitirá innovar las capacidades del instituto solicitante, posibilitando así continuar en la vanguardia de la fotónica en Europa, tanto en producción científica y fabricación de series importantes de circuitos fotónicos integrados como en transferencia tecnológica.