Spain – Microelectronic machinery and apparatus – Adquisición de un equipo de microscopio de escaneo electrónico con funciones de metrología y litografía

El Instituto de Tecnología Nanofotónica (NTC) de la UPV plantea la adquisición del equipamiento necesario para realizar de manera adecuada y más eficiente los procesos de metrología y litografía en obleas de semiconductores. Se trata, concretamente, de la adquisición un microscopio de escaneo electrónico (SEM, Scanning Electron Microscope por sus siglas en inglés) que permita la visualización de muestras, pero que además incluya funciones de metrología (medición mediante software de dimensiones y obtención de estadísticos) y litografía (exposición de patrones a escala nanométrica sobre resinas sensibles).