Germany – Machinery for the heat treatment of materials – Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Herausgegeben von IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Veröffentlicht am 2. Dezember 2025
Tender Description
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
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